在我國“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”GB 50073-2002中對潔凈室潔凈度等級已做出了規(guī)定(見下表),這一規(guī)定是采用了國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644中的潔凈度等級。目前,我國、歐盟、日本、俄羅斯等國的潔凈度等級均采用或參照上述國際標(biāo)準(zhǔn)來制訂本國或本地區(qū)的潔凈室潔凈度的等級標(biāo)準(zhǔn)。美國也將本國的FS 209E中潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)修改為ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子的潔凈度等級(ISO 14644)
空氣潔凈度等級(N) |
≥表中粒徑的較大濃度限值(個/m3) |
|||||
0.1 μm |
0.2 μm |
0.3 μm |
0.5 μm |
1 μm |
5 μm |
|
1 |
10 |
2 |
/ |
/ |
/ |
/ |
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
/ |
/ |
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
/ |
4 |
10,000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
/ |
5 |
100,000 |
23700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
6 |
1,000,000 |
237000 |
102,000 |
35,200 |
8320 |
293 |
7 |
/ |
/ |
/ |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
8 |
/ |
/ |
/ |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
9 |
/ |
/ |
/ |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
注:
① 每點至少采樣3次。
② 本標(biāo)準(zhǔn)不適用表征懸浮粒子的物理、化學(xué)、放射及生命性。
③ 根據(jù)工藝要求可確定1~2個粒徑。
④ 根據(jù)要求粒徑D的粒子較大允許濃度由下式確定(粒徑0.1μm~5μm)
潔凈室潔凈度的等級標(biāo)準(zhǔn)
CN= 10N ×(0.1/D)2.08
公式中: N —為潔凈度等級可在1~9級中間以0.1為較小單位遞增量插入。
CN —大于或等于要求粒徑的粒子較大允許濃度(PC/m3),以四舍五入至近似的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù)。
D —要求的粒徑(μm)。
0.1—常數(shù)(μm)。
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