凈化車間等級(jí)評(píng)定方法:檢測(cè)區(qū)域內(nèi)塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、落菌數(shù)及自凈換氣數(shù)來衡量凈化級(jí)別,目前凈化車間等級(jí)分為:1級(jí)、10級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)、三十萬級(jí)這7個(gè)等級(jí)。各等級(jí)的具體參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)如下:
1、1級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
大或等于0.1um的粒子數(shù)不得超過1000個(gè),大或等于0.2um的粒子數(shù)不得超過237個(gè),大或等于0.3um的粒子數(shù)不得超過102個(gè),大或等于0.5um的粒子數(shù)不得超過35個(gè),大或等于1.0um的粒子數(shù)不得超過8個(gè)。
2、10級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
10級(jí)在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。
3、百級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
潔凈度:粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不能大于100個(gè)。
壓差及溫濕度:溫度22℃±2;
濕度55%±5;
根柢需求滿布ffu,做高架地板。
做MAU+ffu+DC體系。
還有堅(jiān)持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
4、千級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
大或等于0.1um的粒子數(shù)不得超過1000個(gè),大或等于0.2um的粒子數(shù)不得超過237個(gè),大或等于0.3um的粒子數(shù)不得超過102個(gè),大或等于0.5um的粒子數(shù)不得超過35個(gè),大或等于1.0um的粒子數(shù)不得超過8個(gè)
① 溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對(duì)濕度為55+5%。
② 新風(fēng)量:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。
③ 送風(fēng)量:要滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡。
5、萬級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
1.塵粒最大允許數(shù)(每立方米);
2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過350000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個(gè);
3.微生物最大允許數(shù);
4.浮游菌數(shù)不得超過100個(gè)每立方米;
5.沉隆菌數(shù)不得超過3個(gè)每培養(yǎng)皿。
壓差:相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。
萬級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度無特殊要求時(shí),以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%,夏季潔凈室濕度控制在50-70%。
6、十萬級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
塵粒最大允許數(shù)大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過350000個(gè),大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過2000個(gè)。
換氣次數(shù):十萬級(jí)10-15次/小時(shí)。
壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa。
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相對(duì)濕度:45-65%(RH);
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
7、三十萬級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)要求
每立方米大于或等于0.5μm的塵粒最多不能超過10,500,000個(gè);每立方米大于或等于5μm的塵粒最多不能超過60,000個(gè);每立方米浮游菌數(shù)量最多不能超過1000個(gè)。
換氣次數(shù):每小時(shí)換氣次數(shù)不能小于12次。
壓差:不同潔凈級(jí)別潔凈室(區(qū))之間,靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區(qū))與室外,靜壓差大于或等于10PA。
溫度:18~28℃;
相對(duì)濕度:45~65%(RH);
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
附表:
為營造無塵車間良好的工作環(huán)境,真正做到無塵作業(yè),保證產(chǎn)品品質(zhì),滿足客戶需求,特制定無塵車間環(huán)境管理制度,…
A: 在集成電路制造領(lǐng)域,潔凈車間的環(huán)境參數(shù)控制堪稱生產(chǎn)高質(zhì)量芯片的關(guān)鍵所在,而溫度控制更是重中之重。哪怕是極…
A: 制藥車間的潔凈裝修對(duì)于藥品質(zhì)量和生產(chǎn)安全有著至關(guān)重要的作用,勤哲凈化憑借專業(yè)能力為其打造高質(zhì)量設(shè)計(jì)方案?!?/p>
A: 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,凈化車間的平面布局至關(guān)重要,它直接關(guān)系到生產(chǎn)效率、產(chǎn)品質(zhì)量以及企業(yè)的運(yùn)營成本。而勤哲凈…
A: 近期有很想要做無塵車間裝修的用戶來找勤哲咨詢無塵車間裝修中特別注意哪些問題?今天上海潔凈…